Аморфты кремний
Мазмұны
Құрылымы
- Шартты белгілер тізімі
- 5
- Кіріспе
- 6
- 1. Әдеби шолу
- 1.1 Аморфты кремнийді қондыру әдістері
- 7
- 1.2 Аморфты кремний
- 9
- 1.3 Аморфты кремнийдің жақын реттілігі
- 11
- 1.4 Светофильтрлердің жұмыс істеуі
- 12
- 1.5 Локальді электрондық күйлер
- 17
- 1.6 Аморфты кремнийдің оптикалық қасиеттері
- 19
- 1.7 a-Si:H қабықшаларындағы сутегі
- 22
- 2. Негізгі бөлім
- 2.1 Аморфты кремний қабықшасын алу
- 24
- 2.2 Аморфты кремний қабықшаларының оптикалық қасиеттерін анықтау
- 26
- 2.3 Аморфты кремнийдің тыйым салынған зонасы
- 28
- Қорытынды
- 31
- Пайдаланған әдебиеттер тізімі
- 32
- Курстық жұмыс көлемі
- 32 бет
Кіріспе
Аморфты кремнийге деген үлкен қызығушылық екі себеппен түсіндіріледі. Біріншісі — фундаменталды себеп: атомдардың ретсіз орналасуынан туындайтын қасиеттерді теориялық тұрғыдан сипаттау мәселесі әлі күнге дейін толық шешілмеген. Екіншісі — қолданбалы себеп: тәжірибеде оның жартылай өткізгіштік қасиеті дәлелденіп, жұқа қабықшалы аспаптар жасауға мүмкіндік береді. Мұндай құрылғыларға диодтар, өрістік транзисторлар және фотодиодтар жатады.
Аморфты қабықшаларды алу жолдары
Аморфты материалдар көбіне тепе-теңсіз жағдайларда алынады. Өндірісте кең тараған әдістердің қатарына силанды плазмохимиялық жіктеу және кремнийді магнетрондық тозаңдандыру жатады.
Кеуек кремний шамамен 35 жылдан бері белгілі болғанымен, оның оптикалық қасиеттері кристалдық кремнийдің оптикалық қасиеттерінен түбегейлі ерекшеленетіні кейінірек кеңінен талқылана бастады. Жұқа қабықшалы аспаптар мен қабықшалы микросхемаларды жасау үшін аморфты кремнийдің мүмкіндігі ерекше: үлкен ауданға біркелкі қабықша қондыру технологиялары жазық теледидарлар мен көшірме қондырғыларын дамытуға негіз болды.
Фундаменталды мәселе
Ретсіз орналасқан атомдар жүйесінің қасиеттерін толық теориялық сипаттау — бүгінге дейін өзектілігін жоғалтпаған ғылыми міндет.
Қолданбалы мүмкіндіктер
Аморфты кремний негізінде жұқа қабықшалы диодтар, өрістік транзисторлар, фотодиодтар және үлкен ауданға арналған құрылымдар жасалады.
Тәжірибелер аморфты шалаөткізгіштерде рұқсат етілмеген зонаның ені ақаулар концентрациясымен тығыз байланысты екенін көрсетті. Бұл байланыс дайындау үдерісіндегі пассивті қоспаларға, технологиялық режимдерге және кейінгі өңдеулерге тәуелді.
Поликристалды жұқа қабықшалардағы ұсақ түйіршіктердің оптикалық қасиеттері әлі де жеткілікті деңгейде зерттелмеген. Сонымен қатар, бастапқы кремний қасиеттерінің қайта кристалданған кремний параметрлерімен байланысы мәселесі де толық қарастырылмаған.