МАЗМҰНЫ
ШАРТТЫ БЕЛГІЛЕУ ТІЗІМІ……..5
КІРІСПЕ………….6
1 ӘДЕБИ ШОЛУ
1.1 Аморфты кремний қондыру әдістері……….7
1.2 Аморфты кремний………………….9
1.3 Аморфты кремнийдын жақын реттілгі……11
1.4 Светофильтрлердің жұмыс жасауы ………12
1.5 Локальді электрондық күйлер……………….17
1.6 Аморфты кремнийдың опткалық қасиеттері…….19
1.7 a-Si:H қабықшаларындағы сутегі……………..22
2 НЕГІЗГІ БӨЛІМ
2.1 Аморфты кремний қабықшасын алу……….24
2.2 Аморфты кремний қабықшаларының оптикалық қасиеттерін анықтау…….26
2.3 Аморфты кремнийдің тиым салынған зонасы ……..28
ҚОРЫТЫНДЫ……………31
ПАЙДАЛАНҒАН ӘДЕБИЕТТЕР ТІЗІМІ…….32
КІРІСПЕ
Аморофты кремнийге деген үлкен қызығушылық 2 себеппен түсіндіріледі: олардың біреуі фундаменталды, әлі күнге дейін шешілмеген атомдардың ретсіз орналасу түрінің қасиетнің теориалық сипаттамасының мәселсіне байлансты. Басқа себебі астрофотометрияға қолданбалы жүқа қабыршақты приборлар жасауға мүмкіндік беретін жартылай өткізгішті қасиетті тәжірибелік орнатылған байлансты диодтар, өрістік транзисторлар, фотодиодтар, аморофты заттар тепе-теңсіз шарттар бүл кезде алынады, көбінде силанды плазмохимиялық жіктеу немесе кремниді магнетронық тозаңдандыру әдістермен.аморфтық денелерде үлкен дәреже келтіреді. Кеуек кремний 35 жылдан бері белгілі, бірақ кеуек кремнтийдің оптикалық қасиеті кристалдық кремнидің оптикалық қасиетінен кординальды өзгешелікте екені енді ғана ұсынылған. Активті жұқа қабықшалы аспаптар және қабықшалы микросхема негізінде жасау үшін ең ыңғайлысы босқыл кремний. Босқыл шалаөткізгіштерге өте үлкен қызығушылық екі жолмен түсіндіріледі, біріншісі — негізгісі яғни ретсіз орналасқан атомдар жүйесінің қасиеті осы уақытқа дейін теория жүзінде шешілмеген мәселе. Екіншісі-қосымша, ол экспериментті дәлел, яғни шалаөткізгіштік қасиет негізінде жұқа қабықшалы аспаптар, диод, өрісті транзисторлар, фотодиодтар. Үлкен ауданға босқыл заттарды қою мүмкіндігі жазық теледидар, көшірме қондырғылары жасалуда.
Аморфты шалаөткізгіштерде рұқсат етілмеген зонаның ені ақаулардың концентрациясымен тығыз байланысты екенін дайындау процессінде пассивті қоспа, технологиялық режиммен және өңдеулермен тәжірибеде көрсетілді. Поликристаллды жұқа қабықшада аз өлшемді түйіршіктің оптикалық қасиеті әлі жеткілікті меңгерілген жоқ. сонымен қатар, бастапқы кремний қасиеттері қайтакристал- лизацияланған кремний параметрлерімен байланысына қатысты мәселе де толығымен қарастырылмады.
Бұл жұмыстың мақсаты босқыл кремний қабықшасының оптикалық қасиетін зерттеу.
Курстық жұмыс 32 бет